凯世通斩获三家12英寸晶圆厂离子注入机采购订单

近日，上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）宣布成功斩获三家12英寸晶圆厂客户离子注入机采购订单，包括两家新客户新订单与一家重要客户重复订单。目前凯世通的低能大束流离子注入机客户已超过10家以上，超低温离子注入机客户已突破6家。

凯世通表示，此次签署订单的2家新客户均为国内工艺先进的12英寸芯片生产企业，客户在离子注入机设备的选择上，对性能、稳定性以及供应商的服务能力均设立了极高的标准。

凯世通专注国产低能大束流离子注入机产业化，为下游晶圆厂客户提供性能卓越、稳定可靠的量产型产品，覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域。公司自主研发生产的低能大束流离子注入机和超低温离子注入机，已经率先通过了国内多家重点12英寸晶圆厂的严苛验证验收，并成功实现了产业化应用。

自去年开始，凯世通研发投入多款面向细分领域的离子注入机，形成全系列的产品矩阵布局，包括SOI氢离子注入机、6/8吋SiC高温离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备，持续提升离子注入机重大装备自主可控水平，加速离子注入机在新工艺、新材料等领域的广泛应用。

封面图片来源：拍信网

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