电科装备45所湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线

据“电科装备45所”官微消息，近日，电科装备45所自主研制的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内主流FAB厂。该整线设备满足8英寸90nm-130nm工艺节点，适用于8-12英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。

消息称，晶圆尺寸与工艺线宽代表湿法设备的工艺水准，45所自主研制的整线设备具备了8寸主流FAB厂湿法设备运行标准，自动化程度高，系统集成度高，覆盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程，实现了全自动湿法去胶、湿法腐蚀、湿法金属刻蚀、RCA清洗、Marangoni干燥等工艺。

官方资料显示，45所是国内最大的半导体湿法设备供应商之一，通过不断突破关键核心技术，形成了槽式清洗设备、单片清洗设备、甩干设备和电化学沉积ECD设备四大系列，累计向国内用户交付8000余台套设备，广泛应用于集成电路、分立器件、化合物半导体、MEMS传感器、光电子、衬底材料等行业，有力支撑了我国产业链供应链安全。

封面图片来源：拍信网

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