日本半导体设备厂爱发科推出半导体设备表面处理技术，可提升设备良率

4月25日消息，据日经中文报道，日本半导体设备企业爱发科（ULVAC）已开始提供可提高半导体和显示器生产设备良品率（合格率）和耐久性的表面处理服务。

报道称，爱发科开发的耐腐蚀性表面处理技术「VACAL-Z」可在真空设备内部形成厚度为15微米左右的氧化铝覆膜。这种覆膜含有无数细小的孔隙，从而缓和应力，因此即便反覆暴露在高温下，覆膜也不易产生裂纹。因为不易生成裂纹，覆膜的耐腐蚀性可以得到保持，同时也避免了裂纹部分产生微尘的问题。这些微尘一旦覆盖在生产中的半导体表面，可能导致无法顺利形成电路。

VACAL-Z技术可应用于内部真空的反应室部件、加热器、气体扩散板等。

封面图片来源：拍信网

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